4.4 Наноэлектроника СВЧ в ТУСУРе
Основные направления фундаментальных исследований и разработок ТУСУР в области СВЧ электроники:
разработка и развитие технологий изготовления наногетероструктурных СВЧ монолитных интегральных схем (МИС),
разработка методов измерения параметров наногетероструктур, характеризации СВЧ МИС и функциональных элементов,
создание библиотек моделей элементов для отечественных и зарубежных технологий изготовления СВЧ МИС,
разработка программного обеспечения для автоматизированного проектирования (синтеза) СВЧ устройств и управления СВЧ измерительными комплексами,
разработка и изготовление на базе современных наногетероструктурных технологий СВЧ МИС для радиоэлектронных устройств и систем различного назначения.
Научно-педагогические и научные коллективы ТУСУРа, занимающиеся исследованиями и разработками в области СВЧ электроники:
НОЦ «Нанотехнологии», НИИ систем электрической связи (СЭС), кафедры компьютерных систем управления и проектирования (КСУП), физики, физической электроники (ФЭ), сверхвысокочастотной и квантовой радиотехники (СВЧиКР), электронных приборов (ЭП), радиоэлектроники и защиты информации (РЗИ), лаборатория радиационного и космического материаловедения (РКМ).
ТУСУРом в 2008 году создан, а в 2009 запущен в эксплуатацию научно-образовательный центр«Нанотехнологии».
Задачи центра:
проведение научных исследований в области СВЧ наноэлектроники, нанофотоники, нанотехнологий и наноматериалов,
подготовка кадров высшей квалификации и специалистов, преимущественно для производства СВЧ МИС.
Состав НОЦ:
участок нанотехнологий (включая нанолитограф с разрешением до 20 нм),
участок измерений параметров гетероструктур и СВЧ МИС
дизайн-центр по проектированию СВЧ МИС,
учебно-исследовательские лаборатории,
участок инженерного обеспечения чистых комнат.
Измерительное оборудование НОЦ
Единственный в России уникальный, полностью автоматизированный комплекс для полной характеризации элементов МИС на частотах до 50 ГГц.
Технологическое оборудование НОЦ:
нанолитограф Raith-150 Two - электронный микроскоп с блоком для электронно-лучевого экспонирования, разрешение до 20 нм,
установка нанесения фоторезиста,
установка электронно-лучевого напыления,
установка отмывки пластин с системой мегазвуковой очистки пластин,
микроскоп Vistec (Leica) для контроля пластин и фотошаблонов в видимом и УФ диапазонах излучения,
установка допроявления фоторезиста - отображение параметров обработки в реальном времени.
Основные сферы деятельности НОЦ:
проведение научных исследований в области СВЧ наноэлектроники, нанофотоники, нанотехнологий и наноматериалов, подготовка кадров высшей квалификации и специалистов,
разработка технологий изготовления наногетероструктурных СВЧ монолитных интегральных схем (МИС),
разработка методов измерения параметров наногетероструктур, характеризации СВЧ МИС и функциональных элементов,
создание библиотек моделей элементов для отечественных и зарубежных технологий изготовления СВЧ МИС,
разработка программного обеспечения для автоматизированного проектирования (синтеза) СВЧ устройств и управления СВЧ измерительными комплексами,
разработка и изготовление на базе современных наногетероструктурных технологий СВЧ МИС для радиоэлектронных устройств и систем различного назначения.
Конечные продукты НОЦ:
СВЧ МИС для радиоэлектронных устройств и систем различного назначения диапазона частот от 1 до 40 ГГц,
библиотеки моделей элементов для технологий изготовления СВЧ МИС заказчика,
интеллектуальная система автоматизированного проектирования (синтеза) СВЧ устройств,
программы управления СВЧ измерительными комплексами.
Разработки НОЦ «Наноэлектроника»
|
Первая в России опытная партия гетероструктурных МИС МШУ диапазона 8-12 ГГц создана совместно с ИСВЧПЭ РАН и НПФ «МИКРАН» (2007 год)
|
|
Первый в России комплект гетероструктурных МИС МШУ диапазона 8-12 ГГц с параметрами мирового уровня. Создан совместно с ИСВЧПЭ РАН (2008 год)
|
|
МИС МШУ диапазона 2-10 ГГц – универсальный усилительный блок. Разработан совместно с Лиможским университетом (2005 год).
|
|
МИС МШУ диапазона 27-31 ГГц для систем космической связи. Разработан совместно с Французским космическим агентством CNES и исследовательским институтом XLIM (2008 год).
|
|
МИС МШУ диапазона 0,3-1,2 ГГц для применения в радиоастрономии. Разработан совместно с Голландским астрономическим центром ASTRON (2008 год).
|
В НОЦ “Нанотехнологии” ТУСУР разработана интеллектуальная система автоматизированного проектирования (синтеза) СВЧ МИС, которая позволяет генерировать схемы и топологии устройств на основе принципов искусственного интеллекта, а также использовать точные модели монолитных элементов. В основу системы положены уникальные авторские методики сотрудников Лаборатории интеллектуальных компьютерных систем (ЛИКС ТУСУР), основанные на передовых исследованиях в области искусственного интеллекта и синтеза радиоэлектронных устройств. Система позволяет повысить производительность труда проектировщиков.
Совместная работа вузовских учёных и научно-производственных компаний как отечественных, так и зарубежных, позволил накопить опыт работы в режиме R&D, а также освоить технологии опытного производства МИС СВЧ. Выполнены проекты разработки изготовления МИС с Институтом СВЧ полупроводниковой электроники РАН, ОАО НИИПП, ЗАО «НПФ «Микран», Исследовательский институт СВЧ и оптической связи XLIM при Лиможском университете, г. Лимож, Франция, Голландский астрономический, центр ASTRON, г. Двингелоо, Нидерланды, Французское космическое агентство CNES, г. Тулуза, Франция [15].
Список использованных источников
Wikipedia [электронный ресурс] - режим достура: http://ru.wikipedia.org/wiki/Наноэлектроника [1]
Наноэлектроника – достижения и перспективы // Исследования и разработки - 26.12.2012 – режим доступа : http://nanodigest.ru/stati/issledovaniia-i-razrabotki/nanoelektronika-dostizheniia-i-perspektivy [2]
Химия – Наноэлектроника /Основные задачи наноэлектроники / 01.03.2011 – режим доступа:
http://4108.ru/u/nanoelektronika_-_osnovnyie_zadachi_nanoelektroniki [3]
В.Е. Борисенко, А.И. Воробьева, Е.А. Уткина. Наноэлектроника: учебное пособие для студ. – Мн: БГУИР, 2004. – 25 с. [4]
В.Л. Ткалич А.В. Макеева Е.Е. Оборина «Физические основы наноэлектроники» (Санкт-Петербург 2011) [5] 76-78 стр.
В.Е. Борисенко, А.И. Воробьева, Е.А. Уткина. Наноэлектроника: учебное пособие для студ. – Мн: БГУИР, 2004. – 48 с. [6]
Фотоприемники на квантовых ям / 11.01.2014 – режим доступа: http://studopedia.net/10_20218_fotopriemniki-na-kvantovih-yamah.html [7]
В.Л. Ткалич А.В. Макеева Е.Е. Оборина «Физические основы наноэлектроники» (Санкт-Петербург 2011) [8] 76-78 стр.
Introduction to Nanotechnology / How nanorobots are made – 09.07.2009 - режим доступа:
http://nanogloss.com/nanobots/how-nanorobots-are-made/#axzz32PRobCvH [9]
Международный промышленный портал / Перспективы рахвития наноэлектроники в России – 19.10.2010 – режим доступа: http://www.promvest.info/news/otraslipredaticle.php?ELEMENT_ID=27973 [10]
Наноэлектроника – режим доступа:
http://www.royalline.ru/tio62vti-xo-hoe20/Наноэлектроника
Сибирь заживет на широкую полосу. «Коммерсантъ» (Омск), №44 (4582) (16 марта 2011). — NSN и «Микран» создадут в Томске производство базовых станций для мобильных сетей 4G. [11]
Бизнес в СВЧ – диапазоне/Владислав Михайлов – Москва 13.02.2012 - режим доступа: http://expert.ru/siberia/2012/06/biznes-v-svch-diapazone/ [11]
НПФ «Микран» / Деятельность – режим доступа: http://www.micran.ru/about/activity/ [13]
ТУСУР / Наука / Приоритетные и основные направления научных исследований / Наноэлектроника СВЧ – режим доступа: http://www.tusur.ru/ru/science/nni/nanoelectronics/ [14]
|
