Программа учебной дисциплины «электрохимические методы осаждения металлов. Особенности осаждения меди»

Скачать 0.5 Mb.

Название	Программа учебной дисциплины «электрохимические методы осаждения металлов. Особенности осаждения меди»
страница	1/6
Тип	Программа

1 2 3 4 5 6

Приложение 10
Министерство образования и науки Российской Федерации

НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ «МИЭТ»

«УТВЕРЖДАЮ»

Ректор МИЭТ

чл.-корр. РАН

____________________ Ю.А. Чаплыгин

«_____» _____________________ 2011 г.

ПРОГРАММа УЧЕБНОЙ ДИСЦИПЛИНЫ
«ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКИЕ МЕТОДЫ ОСАЖДЕНИЯ МЕТАЛЛОВ.
ОСОБЕННОСТИ ОСАЖДЕНИЯ МЕДИ»

2011 г.

Рабочая программа учебной дисциплины утверждена на заседании учебно-методического совета образовательных программ опережающей профессиональной подготовки (уровень - магистратура) и переподготовки в области проектирования и производства СБИС с топологическими нормами 90 нм, протокол от 16 ноября 2011 г. № 2.
Организация-разработчик: Национальный исследовательский университет «МИЭТ»

Авторы:

Гаврилов С.А., д.т.н., проректор по научной работе.

Белов А.Н., к.т.н., доцент.

СОДЕРЖАНИЕ

1. ПАСПОРТ ПРОГРАММЫ УЧЕБНОЙ ДИСЦИПЛИНЫ 4

2. СТРУКТУРА и содержание УЧЕБНОЙ ДИСЦИПЛИНЫ 5

3. условия реализации программы учебной дисциплины 7

4. Контроль и оценка результатов Освоения учебной дисциплины 8

1. паспорт ПРОГРАММЫ УЧЕБНОЙ ДИСЦИПЛИНЫ

«ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКИЕ МЕТОДЫ ОСАЖДЕНИЯ МЕТАЛЛОВ.
ОСОБЕННОСТИ ОСАЖДЕНИЯ МЕДИ»
1.1. Область применения программы

Программа учебной дисциплины является частью профессиональной образовательной программы переподготовки специалистов по профессии

210100 "Электроника и наноэлектроника"

в части освоения вида профессиональной деятельности:

проектно-технологическая деятельность.
1.2. Место дисциплины в структуре профессиональной образовательной программы:

Дисциплина относится к общепрофессиональным дисциплинам профессионального цикла.
1.3. Цели и задачи учебной дисциплины - требования к результатам освоения дисциплины:

В результате освоения дисциплины обучающийся должен уметь:

- обосновывать выбор методов формирования медной металлизации УБИС с топологическими нормами 90 нм и выше;

- прогнозировать развитие конструктивно-технологического базиса многоуровневой металлизации УБИС с топологическими нормами менее 90 нм.
В результате освоения дисциплины обучающийся должен знать:

- тенденции и перспективы развития систем металлизации УБИС с проектными нормами нанометрового диапазона;

- принципы создания металлизации УБИС с проектными нормами нанометрового диапазона;

- передовой отечественный и зарубежный научный опыт в области создания многоуровневой металлизации УБИС с проектными нормами нанометрового диапазона.
1.4. Рекомендуемое количество часов на освоение учебной дисциплины:

- максимальной учебной нагрузки обучающегося 70 часов, в том числе:

- обязательной аудиторной учебной нагрузки обучающегося 34 часов;
2. СТРУКТУРА И ПРИМЕРНОЕ СОДЕРЖАНИЕ УЧЕБНОЙ ДИСЦИПЛИНЫ
2.1. Объем учебной дисциплины и виды учебной работы

Вид учебной работы	Количество часов
Максимальная учебная нагрузка (всего)	70
Обязательная аудиторная учебная нагрузка (всего)	34
В том числе:
Лекционные занятия	6
Лабораторные занятия	12
Практические занятия	8
Итоговая аттестация в форме (указать) Зачет в этой строке часы не указываются

2.2. Примерный тематический план и содержание учебной дисциплины «Электрохимические методы осаждения металлов. Особенности осаждения меди»

наименование

Наименование разделов и тем	Содержание учебного материала, лабораторные и практические работы обучающихся (если предусмотрены)		Количество часов	Уровень освоения
Раздел 1. «Электрохимические методы осаждения металлов. Особен-ности осаждения меди»
Тема 1.1. Анализ методов нанесения металлов	Содержание учебного материала		2
	1	Сравнительный анализ методов нанесения металла. Роль электрохимических методов.		**
	Лабораторные занятия		4
	1.	Исследование особенностей импульсного осаждения меди в высокоаспектные канавки.
	Практические занятия		*
	Контрольные работы		*
Тема 1.2. Катодное осаждение металлов	Содержание учебного материала		2
	1	Физико-химические основы катодного осаждения металлов.		**
	Лабораторные занятия		12
	1.	Исследование закономерностей процессов катодного осаждения металлов
	2.	Исследование процессов катодного осаждения сплавов
	3.	Исследование структуры и свойств электроосажденных пленок меди
	Практические занятия		4
	1.	Основные методы электрохимического осаждения металлов.
	2.	Особенности тотального и локального электрохимического осаждения металлов.
	Контрольные работы		2
Тема 1.3. Особенности электрохимического создания медной металлизации	Содержание учебного материала		2
	1	Катодное формирование медной металлизации ультрабольших интегральных схем.		**
	Лабораторные занятия		4
	1.	Исследование влияния каталитических добавок на свойства осаждаемых пленок меди
	Практические занятия
	Контрольные работы		2
Всего:			34

1 2 3 4 5 6

Похожие:

	Рабочая программа учебной дисциплины английский язык заочное отделение Рабочая программа учебной дисциплины разработана на основе фгос и в соответствии с примерной программой учебной дисциплины для специальностей...		Рабочая программа учебной дисциплины документационное обеспечение управления заочное отделение Рабочая программа учебной дисциплины разработана на основе фгос и в соответствии с примерной программой учебной дисциплины для специальностей...
	Рабочая программа учебной дисциплины оп. 10 Экономика предприятия... Рабочая программа учебной дисциплины разработана на основе Федерального государственного образовательного стандарта по специальности...		Рабочая программа учебной дисциплины гражданское процессуальное право... Рабочая программа учебной дисциплины одобрена на заседании кафедры трудового, экологического права и гражданского процесса
	Рабочая программа учебной дисциплины одп. 04 Право для специальности... Рабочая программа учебной дисциплины составлена на основе требований Федерального государственного образовательного стандарта по...		Рабочей программы учебной дисциплины рабочая программа учебной дисциплины «Конкурентное право» Требования к подготовленности обучающегося к освоению содержания учебной дисциплины (пререквизиты)
	Программа учебной дисциплины разработана на основе фгос спо. Включает... Интернет-ресурсов, основной и дополнительной литературы; контроль и оценку результатов освоения дисциплины		Рабочая программа учебной дисциплины огсэ. 03 Иностранный язык (английский)... Рабочая программа учебной дисциплины разработана на основе Федерального государственного образовательного стандарта (далее – фгос)...
	Рабочая программа учебной дисциплины немецкий язык Охватывают грамматические особенности немецкого языка		Программа учебной дисциплины иностранный язык (профессиональный)... Программа учебной дисциплины «Иностранный язык (профессиональный)» разработана на основе Федерального государственного образовательного...

Вы можете разместить ссылку на наш сайт:

Все бланки и формы на filling-form.ru