Программа учебной дисциплины «электрохимические методы осаждения металлов. Особенности осаждения меди»

Скачать 0.5 Mb.

Название	Программа учебной дисциплины «электрохимические методы осаждения металлов. Особенности осаждения меди»
страница	2/6
Тип	Программа

1 2 3 4 5 6

3. условия реализации программы учебной дисциплины

3.1. Требования к материально-техническому обеспечению

Реализация программы учебной дисциплины требует наличия аудиторного помещения; лаборатории.
Оборудование аудиторного помещения:

Мультимедийный проектор.
Технические средства обучения:

Программное и коммуникационное обеспечение
Оборудование лаборатории и рабочих мест лаборатории:

Электрохимический комплекс для осаждения металлов, AMMT, Германия

Установки вакуумного нанесения SI 500 PPD, SENTECH, Германия, AXXIS, Kurt Lesker, США.

Сканирующий зондовый микроскоп (Солвер-Р47)

Высокочастотная полуавтоматическая зондовая установка Cascade Microtech S300.

Комплект учебно-методической документации (учебники и учебные пособия, лабораторный практикум, комплекты тестовых заданий).

3.2. Информационное обеспечение обучения

Перечень рекомендуемых учебных изданий, Интернет-ресурсов, дополнительной литературы
Основные источники:

1. Белов А.Н., Гаврилов С.А. Электрохимические процессы в технологии микро и наноэлектроники. - М. Высшее образование, 2009. - 257 с.

2. Громов Д.Г., Мочалов А.И., Сулимин А.Д., Шевяков В.И. Металлизация ультрабольших интегральных схем: учебное пособие / Под ред. Ю.А. Чаплыгина. - М.: Бином, 2009. - 277 с.

3. Королев М.А., Крупкина Т.Ю., Путря М.Г., Шевяков В.И. Технология, конструкции методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. Ч. 2. - М.: «БИНОМ. Лаборатория знаний», 2009. - 422 с.
Дополнительные источники:

2. Красников Г.Я. Конструктивно-технологические особенности субмикронных МОП-транзисторов. Ч. 2. - Техносфера, 2004. - 536 с.

4. Контроль и оценка результатов освоения учебной Дисциплины

Образовательное учреждение, реализующее подготовку по учебной дисциплине, обеспечивает организацию и проведение промежуточной аттестации и текущего контроля демонстрируемых обучающимися знаний, умений и навыков. Текущий контроль проводится преподавателем в процессе проведения практических занятий и лабораторных работ, тестирования, а также выполнения обучающимися индивидуальных заданий. Формы и методы текущего контроля по учебной дисциплине самостоятельно разрабатываются образовательным учреждением и доводятся до сведения обучающихся в начале обучения.

Для текущего контроля образовательными учреждениями создаются фонды оценочных средств (ФОС).

ФОС включают в себя педагогические контрольно-измерительные материалы, предназначенные для определения соответствия (или несоответствия) индивидуальных образовательных достижений основным показателям результатов подготовки (таблицы).

Раздел (тема) учебной дисциплины	Результаты (освоенные умения, усвоенные знания)	Основные показатели результатов подготовки	Формы и методы контроля
№ 1.1 «Анализ методов нанесения металлов»	БКП-2. Знание базовых маршрутов создания металлизации УБИС с топологическими нормами до 90 нм	Изложение теоретических основ по технологии создания многоуровневой металлизации УБИС	Зачет Тест
№ 1.2 «Катодное осаждение металлов»	БКП-2. Знание базовых маршрутов создания УБИС с топологическими нормами до 90 нм. СКП-8. Навыки использования современного контрольно-измерительного оборудования для электрофизической и функциональной диагностики УБИС с топологическими нормами 90 нм. СКП-11. Умение контролировать параметры разрабатываемых приборов на всех этапах маршрута проектирования, владение методами физической характеризации и верификации УБИС с топологическими нормами 90 нм	Выполнение лабораторного задания	Зачет

Раздел (тема) учебной дисциплины	Результаты (освоенные умения, усвоенные знания)	Основные показатели результатов подготовки	Формы и методы контроля
№ 1.3 «Особенности электрохимического создания медной металлизации»	БКП-2. Знание базовых маршрутов создания УБИС с топологическими нормами до 90 нм. СКП-8. Навыки использования современного контрольно-измерительного оборудования для электрофизической и функциональной диагностики УБИС с топологическими нормами 90 нм. СКП-11. Умение контролировать параметры разрабатываемых приборов на всех этапах маршрута проектирования, владение методами физической характеризации и верификации УБИС с топологическими нормами 90 нм	Выполнение лабораторного задания	Зачет

Оценка знаний, умений и навыков по результатам текущего контроля производится в соответствии с универсальной шкалой (таблица).

Процент результативности (правильных ответов)	Качественная оценка индивидуальных образовательных достижений
Процент результативности (правильных ответов)	балл (отметка)	вербальный аналог
90 ÷ 100	5	Отлично
80 ÷ 89	4	Хорошо
70 ÷ 79	3	Удовлетворительно
Менее 70	2	Не удовлетворительно

1 2 3 4 5 6

Похожие:

	Рабочая программа учебной дисциплины английский язык заочное отделение Рабочая программа учебной дисциплины разработана на основе фгос и в соответствии с примерной программой учебной дисциплины для специальностей...		Рабочая программа учебной дисциплины документационное обеспечение управления заочное отделение Рабочая программа учебной дисциплины разработана на основе фгос и в соответствии с примерной программой учебной дисциплины для специальностей...
	Рабочая программа учебной дисциплины оп. 10 Экономика предприятия... Рабочая программа учебной дисциплины разработана на основе Федерального государственного образовательного стандарта по специальности...		Рабочая программа учебной дисциплины гражданское процессуальное право... Рабочая программа учебной дисциплины одобрена на заседании кафедры трудового, экологического права и гражданского процесса
	Рабочая программа учебной дисциплины одп. 04 Право для специальности... Рабочая программа учебной дисциплины составлена на основе требований Федерального государственного образовательного стандарта по...		Рабочей программы учебной дисциплины рабочая программа учебной дисциплины «Конкурентное право» Требования к подготовленности обучающегося к освоению содержания учебной дисциплины (пререквизиты)
	Программа учебной дисциплины разработана на основе фгос спо. Включает... Интернет-ресурсов, основной и дополнительной литературы; контроль и оценку результатов освоения дисциплины		Рабочая программа учебной дисциплины огсэ. 03 Иностранный язык (английский)... Рабочая программа учебной дисциплины разработана на основе Федерального государственного образовательного стандарта (далее – фгос)...
	Рабочая программа учебной дисциплины немецкий язык Охватывают грамматические особенности немецкого языка		Программа учебной дисциплины иностранный язык (профессиональный)... Программа учебной дисциплины «Иностранный язык (профессиональный)» разработана на основе Федерального государственного образовательного...

Вы можете разместить ссылку на наш сайт:

Все бланки и формы на filling-form.ru